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新钢线第一刀金刚石未磨损,部分钢线出刃率偏高,金刚石颗粒较尖锐,新线切割过程,金刚石颗粒与硅片表面摩擦,金刚石颗粒尖锐部分会有一定概率在硅片上造成深纹路的线 解决方案:
① 钢线改善:降低钢线出刃率,改善钢线上金刚砂颗粒的形貌,减少金刚石颗粒对硅片的切割深度,降低线痕粗糙度;
③ 制程拦截:切片下机取片确认,异常刀次流程单单独备注流转,针对异常机台检包检验时进行倒片拉开检验,防止异常线. 硅片类-线 异常现象:线 异常原因:
局部区域切割力分配不均导致线弓较大,出现大线弓和等距线痕情况;升棒过程中硅片下半部分吸附,钢线在硅片表面留下划痕;
② 提升线痕发生区域切割力(线mm/min,减少进回线设计降低线痕间距,降低台速 改善切割线弓,整体改善切割纹路,降低中上部钢线磨损
① 根据双方分选机测试原理发现,双方分选机边缘位置剔除距离不一致,导致测试差异;
② 对所有二检进行班前宣导,禁止交接班时,同时下料;缩短交接班时间,接班人员只允许整理补充辅料,等交班人员结束工作后才可以开始工作;
③ 向二检宣导文件要求:同一个检验员同一时间只允许检验同一种规格的物料,禁止同时检验A+和等外品;
④ 安排班组长在交接班期间对二检检验手法与现场物料流转进行监控,违规作业人次进行相应的负激励考核;
① 色差:针对目前切片存有的断线,跳线异常,多能工在焊线,刃线,分线网时,操作不当形成严重色差;
② 线粗:金刚线:正常金刚线金刚石分布均匀,切割出来的硅片纹路均匀,没有深度。全新钢线金刚砂颗粒较大,导 致硅片切割出来纹路有深度;
① 对现有车间技术员,多能工进行技术摸底,确认是否达到上岗要求,不合格者进行下岗处理,同时开展定期技术培 训,培训合格者方可上岗。
② 对FQC检测人员,进行实样标准培训,考核通过者方可进行上岗,同时制定标准样片。
③ 在插片工序前端,将每刀料的尾部10片进行取出,固定机台跑料,进行降级处理;
③ 品质日常巡查稽核并将放置区域要求加入文件内:待定片子确认区域区分P型与N型;
① 脏污:硅片制程中严重脏污残留在硅片上未清洗干净;清洗药水效果下降导致清洗不干净;
② 花篮印:硅片端清洗时,硅片与花篮接触的位置清洗不干净导致,花篮未定期清洁;
② 花篮印:优化清洗配方,增加IPQC抽检频次;制定花篮清洗周期,严格执行、监督;
① 依据EL同心圆的图貌结合以前的分析经验,应是氧的不均匀性造成,边缘氧环应是主要集中在距离硅棒边缘~40mm附近位置;
② 依据边缘氧环生成原理,分析如果工艺窗口过大或者波动容易造成氧分布的不均匀性;
① 厂内增加拉速波动过大预警机制,对预警的棒子,品质技术一起确认,增加厂内员工拦截奖励,减少漏出风险;
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